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熱絲化學(xué)氣相沉積產(chǎn)品特點(diǎn)：
本產(chǎn)品為雙層不銹鋼腔體式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊合理；本產(chǎn)品分上臺(tái)架和下臺(tái)架兩大部分，下臺(tái)架除了用于支撐反應(yīng)腔室，還布置氣路閥門，水路管道以及各種控制元件。上臺(tái)架布置顯示面板，電源器件，合理屏蔽電路干擾；
本產(chǎn)品**分散冷卻水道布局（腔體上蓋，腔體主體上下層和底板，以及熱絲彈力裝置等地方）。水泵，水管，智能監(jiān)控流量計(jì)，水路歧管等，均為封閉式循環(huán)系統(tǒng)。
本產(chǎn)品氣路組合主要由工藝氣體供給系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)，氣路管道的合理分布，有效利用可使用的空間，氣體流量，壓力的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)及**控制。
本產(chǎn)品選用雙基片式真空泵，抽氣速度穩(wěn)定在65m3/h.極限優(yōu)良真空全壓為0.5Pa，防護(hù)的等級(jí)為IP54.
熱絲化學(xué)氣相沉積技術(shù)指標(biāo)與特性：
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真空腔室 |
結(jié)構(gòu)：圓筒形+上蓋 材質(zhì)：304上等不銹鋼 腔體尺寸:Φ640x320mm |
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電源： |
AC220V /三相380V 30KW |
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控溫 |
低壓和大電流直流電源，熱絲溫度*高可達(dá)2500°C。 沉積基體表面：600℃左右 腔體壁溫度： <60℃ 控溫精度：0.1℃ |
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測(cè)溫系統(tǒng) |
遠(yuǎn)紅外光學(xué)測(cè)溫+熱電偶監(jiān)測(cè) |
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熱絲裝置： |
恒定張力陣列幾何形狀，鉬絲，銅饋通，鎢絲結(jié)合處理，方便調(diào)整與維護(hù) |
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觀察窗 |
主觀察窗φ190mm 輔觀察窗φ45mm |
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水路系統(tǒng) |
水冷電極、水冷腔體、水冷熱絲輔助部件 總水管接口尺寸 40mm 冷卻水流量：60L/MIN |
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真空系統(tǒng) |
雙基旋片泵+高真空閥門組合（**閥，流量感應(yīng)器，調(diào)節(jié)閥……） ，數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)， *大抽氣速度：65 m3/h 設(shè)備保壓：停泵 12 小時(shí)候后，真空≤10Pa； 抽氣接口 CF40 排氣接口KF16
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操作系統(tǒng)： |
PLC+觸摸屏人機(jī)界面半自動(dòng)控制系統(tǒng)； |
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**系統(tǒng) |
報(bào)警及保護(hù)：對(duì)泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；完善 的邏輯程序互鎖保護(hù)系統(tǒng)； |
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占地尺寸 |
(主機(jī)）L1800×W1150×H1550(mm)。 |
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整機(jī)重量 |
600kg |
