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    凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作
	 
 
凈化型勻膠機技術參數:
	
	 
						產品名稱
					 
						凈化旋涂儀帶加熱臺
					 
						產品型號
					 
						CY-SPC4-SS-JH
					 
						勻膠機
					 
						電源電壓
					 
						AC220V, 50Hz
					 
						旋轉速度
					 
						0~9999rpm, adjustable
					 
						加速度
					 
						100~5000rpm/s
					 
						速度分辨率
					 
						1rpm
					 
						時間分辨率
					 
						1s
					 
						單步時間
					 
						3000s
					 
						基片尺寸
					 
						直徑≤4英寸(100mm)
					 
						腔體材質
					 
						亞克力
					 
						操作方式
					 
						按鍵+液晶屏
					 
						點膠方式
					 
						手動點膠,可選精密注射泵
					 
						勻膠曲線
					 
						每條曲線5段,共可存儲5條曲線
					 
						抽氣口
					 
						φ6mm快擰接口
					 
						真空吸盤
					 
						直徑10mm, 25mm, 55mm
					 
						整體尺寸
					 
						210mm×250mm×180mm
					 
						加熱板
					 
						加熱板尺寸
					 
						150*150mm
					 
						加熱溫度
					 
						RT~300C
					 
						溫度分辨率
					 
						0.1C
					 
						控溫精度
					 
						±1C
					 
						溫度均勻性
					 
						<±2C
					 
						電源
					 
						AC220V, 50Hz
					 
						凈化柜
					 
						尺寸
					 
						800*680*1700mm
					 
						內部布局
					 
						內部左側放4英寸亞克力腔體勻膠機,右側放加熱板
					 
						凈化等級
					 
						美國標準100%
					 
						照明
					 
						內置LED照明燈
					 
						排氣系統
					 
						真空泵
					 
						干式機械泵
					 
						抽氣速率
					 
						50L/min
					 
						電源
					 
						AC220V, 60Hz
					
		
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
				
					 
			
				 
			
					 
				
					 
			
				 
		
	
					 
				
					 
			
 
 
     
     
                             
                             
                             
                             
                             
                             
                             
                             
                             
                             
                             
                            